中山大學電子與信息工程學院
發(fā)布日期:2021-01-16
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中山大學電子與信息工程學院
中山大學電子與信息工程集成電路封裝測試實驗室,項目面積1400m2,包含ISO5級(百級)和ISO6(千級)潔凈室;
空調(diào)風系統(tǒng)均采用MAU(組合式新風機組)+FFU(高效送風單元)+DCC(干盤管)系統(tǒng),新風經(jīng)過MAU處理后進入上夾層,和經(jīng)過DCC冷卻的回風混合后送入室內(nèi),ISO6級潔凈室氣流組織為頂送側(cè)下回,ISO5級氣流組織為垂直單向流(面風速設計≤0.25m/s);
潔凈室空調(diào)冷熱源供應設計風冷螺桿式冷水機組和風冷螺桿式熱泵機組。